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什么是壓阻式加速度傳感器?
來源:賽斯維傳感器網 2012-04-16 11:27:11
回答:壓阻式加速度傳感器又稱為壓阻微硅機電技術加速度傳感器,應變壓阻式加速度傳感器的敏感芯體為半導體材料制成電阻測量電橋,其結構動態(tài)模型仍然是彈簧質量系統(tǒng),F(xiàn)代微加工制造技術的發(fā)展使壓阻形式敏感芯體的設計具有很大的靈活性以適合各種不同的測量要求。在靈敏度和量程方面,從低靈敏度高量程的沖擊測量,到直流高靈敏度的低頻測量都有壓阻形式的加速度傳感器。同時壓阻式加速度傳感器測量頻率范圍也可從直流信號到具有剛度高,測量頻率范圍到幾十千赫茲的高頻測量。超小型化的設計也是壓阻式傳感器的一個亮點。需要指出的是盡管壓阻敏感芯體的設計和應用具有很大靈活性,但對某個特定設計的壓阻式芯體而言其使用范圍一般要小于壓電型傳感器。壓阻式加速度傳感器的另一缺點是受溫度的影響較大,實用的傳感器一般都需要進行溫度補償。在價格方面,大批量使用的壓阻式傳感器成本價具有很大的市場競爭力,但對特殊使用的敏感芯體制造成本將遠高于壓電型加速度傳感器。
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